近日，中電熊貓15.6吋BCE面板成功點亮。7月17日，15.6吋BCE面板在中電熊貓8.5代線成功點亮，中電熊貓2017年重點研發(fā)項目“非晶態(tài)IGZO BCE制程量產(chǎn)工藝研究”取得突破性進展！這標志著中電熊貓在IGZO技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先地位進一步確立，必將有力帶動面板產(chǎn)品的高端化，對中國電子、中電熊貓平板顯示產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展具有重要意義。
BCE結(jié)構(gòu)（即背溝道蝕刻型結(jié)構(gòu)）是IGZO TFT器件的一種結(jié)構(gòu)類型。目前，中電熊貓8.5代線IGZO制程技術(shù)采用的是TFTESL結(jié)構(gòu)（即刻蝕阻擋型結(jié)構(gòu)），器件所占版圖空間較大，不利于實現(xiàn)更窄的邊框設(shè)計和更高的開口率；而BCE結(jié)構(gòu)具有光刻次數(shù)少、器件小型化、制造成本低等優(yōu)點,其技術(shù)開發(fā)量產(chǎn)有利于降低產(chǎn)品成本、實現(xiàn)高端產(chǎn)品開發(fā)、增強IGZO技術(shù)的市場競爭力。
此次15.6吋BCE面板成功點亮，標志著中電熊貓8.5代線IGZOTFT器件從ESL結(jié)構(gòu)向BCE結(jié)構(gòu)的重大轉(zhuǎn)變，朝著IGZO BCE制程量產(chǎn)邁出了重要一步，將助推中電熊貓產(chǎn)品向更高分辨率的高端產(chǎn)品轉(zhuǎn)型。
今年2月起，中電熊貓正式啟動“非晶態(tài)IGZO BCE制程量產(chǎn)工藝研究”項目，組建項目團隊，開展項目攻關(guān)。項目實行分階段閉環(huán)管理，定期開展階段性成果測試與評價，實時監(jiān)控項目進度和質(zhì)量，先后解決了BCE制程中IGZO薄膜易腐蝕等關(guān)鍵性難題，完成了新靶材規(guī)格確認、新銅酸燒杯試驗、mask設(shè)計、試生產(chǎn)等一系列工作，并于7月17日首次試做即成功點亮， BCE工藝的優(yōu)化工作也隨后完成。
南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司成立于2009年8月，總投資138億元，注冊資本48億元，中國電子信息產(chǎn)業(yè)集團有限公司（CEC）占股19%；中電熊貓信息產(chǎn)業(yè)集團有限公司（中電熊貓，CEC占股70%）占股51%；南京新港開發(fā)總公司占股18.8%；南京新型工業(yè)化投資（集團）有限公司占股11.2%。
六代線項目是CEC、中電熊貓和南京市貫徹落實國家電子信息產(chǎn)業(yè)振興規(guī)劃、實現(xiàn)彩電業(yè)轉(zhuǎn)型升級、促進產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的戰(zhàn)略舉措，是我國大陸引進的第一條電視用液晶面板生產(chǎn)線，也是迄今世界上技術(shù)最先進的六代液晶面板生產(chǎn)線。為保障六代線項目的全球競爭力，六代線項目全面導入了夏普公司G8、G10世界最新技術(shù)，具有技術(shù)先進、專利保障、投資節(jié)約、產(chǎn)業(yè)鏈垂直整合、技術(shù)再創(chuàng)新等方面優(yōu)勢。項目于2009年11月1日正式進行樁基工程，2011年3月底建成投產(chǎn)。經(jīng)過五個多月的生產(chǎn)爬坡，六代線項目所產(chǎn)32寸電視面板達到60K產(chǎn)能和90%良品率，12月實現(xiàn)80K產(chǎn)能和良品率93%的目標，產(chǎn)能和良品率爬坡速度均達到國際一流水平。
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